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◆性能特點(diǎn)：
實現(xiàn)探針和樣品組合式移動掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。采用三軸獨(dú)立閉環(huán)壓電平移式掃描臺，實現(xiàn)大范圍高精度掃描。
三軸獨(dú)立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測。
電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點(diǎn)位置實現(xiàn)快速自動化檢測。
龍門架式掃描頭設(shè)計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺。
馬達(dá)自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進(jìn)針方式，保護(hù)探針及樣品。
高倍輔助光學(xué)顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域。閉環(huán)壓電掃描臺無需非線性校正，納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。
◆測量范圍及應(yīng)用：
測量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應(yīng)用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應(yīng)用案例 Application Case
序號
名稱
技術(shù)參數(shù)
01
工作模式
接觸模式、輕敲模式
02
選配模式
摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力
03
力譜曲線
F-Z力曲線、RMS-Z曲線
04
XY掃描方式
樣品驅(qū)動式掃描，閉環(huán)壓電平移式掃描臺
05
Z掃描方式
探針驅(qū)動式掃描
06
XY掃描范圍
閉環(huán)100×100um
07
Z掃描范圍
10um
08
掃描分辨率
閉環(huán)XY向0.5nm，Z向0.05nm
09
XY樣品臺
步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動控制，移動精度1um
10
XY移動行程
100×100mm（可選200×200mm，300×300mm）
11
樣品載物臺
直徑100mm（可選200mm，300mm）
12
樣品重量
≤0.5Kg
13
Z升降臺
步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動控制，*小步長10nm
14
Z升降行程
15mm（可選20mm，25mm）
15
光學(xué)定位
10X光學(xué)物鏡
16
攝像頭
500萬像素數(shù)字CMOS
17
掃描速率
0.6Hz~30Hz
18
掃描角度
0~360°
19
運(yùn)行環(huán)境
Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)
20
通信接口
USB2.0/3.0
21
儀器結(jié)構(gòu)
龍門架式掃描頭，大理石底座
22
減震方式
氣浮式減震臺+金屬屏蔽隔音箱（可選主動式減震臺）
天津微儀光學(xué)儀器有限公司多年專注光學(xué)顯微鏡設(shè)備制造
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